磁控濺射
鍍膜玻璃生產(chǎn)線的原理是,利用
浮法玻璃在高真空狀態(tài)下應(yīng)用離子濺射法沉積金屬和
金屬氧化物到玻璃表面,形成鍍膜玻璃.金屬和金屬氧化物利用光學(xué)衍射原理可生產(chǎn)各種顏色鍍膜玻璃,色彩豐富多彩,膜層牢固.而且具有很好的
隔熱保溫效果.目前我國大中城市高樓大廈
玻璃幕墻使用的絕大多數(shù)是引進(jìn)德國或美國生產(chǎn)線生產(chǎn)的離線鍍膜玻璃。
國內(nèi)某知名鍍膜玻璃制造商在二十世紀(jì)九十年代引進(jìn)了德國的大型磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線,生產(chǎn)控制系統(tǒng)采用了Opto22的產(chǎn)品,這個系統(tǒng)使用一直十分穩(wěn)定,系統(tǒng)硬件極為可靠,很少購買備件,為了擴(kuò)大產(chǎn)能,公司決定對生產(chǎn)線改造,在改造過程中系統(tǒng)依然采用了Opto22的以太網(wǎng)控制產(chǎn)品。改造的內(nèi)容是對新增的濺射室實(shí)現(xiàn)控制,在濺射室外通過循環(huán)冷卻水,當(dāng)條件具備時,在濺射室內(nèi)通入設(shè)定比例的工藝氣體,通過控制濺射電源的電源功率和電流,實(shí)現(xiàn)對浮法玻璃的表面鍍膜。
由于原有系統(tǒng)在MS-DOS操作系統(tǒng)下運(yùn)行,為維持工廠正常生產(chǎn),暫時不做改造,但是為了和原有系統(tǒng)相配合,新程序設(shè)計(jì)選擇了多種控制方案,即單個濺射室控制,多個濺射室聯(lián)動。實(shí)現(xiàn)了靈活的控制。整個控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了以下功能:
(1)工作模式選擇:可以選擇單機(jī)控制,聯(lián)機(jī)控制
(2)工藝配方選擇:可以設(shè)置工藝氣體的多個配方,在滿足不同生產(chǎn)要求時候可以靈活調(diào)用各種配方。
(3)參數(shù)實(shí)時顯示:可以集中顯示各個濺射室的濺射電源功率,電流,電壓,工藝氣體質(zhì)量流量,循環(huán)冷卻水閥門狀態(tài)等。
(4)報(bào)警記錄:系統(tǒng)可以對濺射電源的電流偏差報(bào)警,工藝氣體質(zhì)量流量偏差報(bào)警,循環(huán)冷卻水?dāng)嗔鳡顟B(tài)報(bào)警,通訊故障報(bào)警。出現(xiàn)報(bào)警時候彈出告警窗口并聲光報(bào)警,生成報(bào)警日志文件記錄。
(5)實(shí)時及歷史趨勢記錄:可以記錄系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù),如濺射電源電流,功率,工藝氣體質(zhì)量流量等,記錄周期可以靈活調(diào)整;
通過技術(shù)改造,工廠提高了產(chǎn)能,控制系統(tǒng)運(yùn)行也一如原有OPTO22系統(tǒng)一樣的穩(wěn)定可靠。
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